28200 系列半矩形真空閘閥
HVA 不銹鋼閥體真空閘閥提供了真空閥門業(yè)小的內(nèi)部表面區(qū)域. 閥體和所有主要內(nèi)部部件在1100 ℃的真空爐中焊接的, 確保了大的完整性. 這就消除了虛漏和缺陷部分, 使在常規(guī)狀態(tài)下焊接出現(xiàn)的閥體變形的可能小化了. 爐內(nèi)釬焊的304不銹鋼減少了漏氣, 這就使系統(tǒng)在較短的時間里獲得基礎壓力. 在開啟位置, 密封墊O型圈*看不見, 防止了任何微?；蛘呓橘|(zhì)累加到該密封面。在關閉位置, 一個堅固的整體設計阻止了任何材料累積到閥動裝置后面, 這樣*的減少了維修和維護的需求. 這些真空閘閥設計專門改造以滿足機械接口和真空密封要求的產(chǎn)業(yè).
這款 28200 系列真空閘閥真空閥門/界面的設計融合了直接驅(qū)動的閘極. 直接驅(qū)動消除了機械聯(lián)動裝置并*的減少了內(nèi)部閥門配件使用. 真空閘閥閘板閥設計的明顯改善導致了超常的不停機工作時間周期和極低的微粒再生, 甚至是在使用了一百萬周期后。真空閘閥閥門已經(jīng)被測試了1000000周期, 沒有失敗. 在操作方面, 這款 28200 系列閥門真空閘閥非常安靜和可靠. 因為他們以更低的壓力密封, 更耐用, 并且需要一個*密封的壓力更小. 為了滿足mo塊化集成加工系統(tǒng)一些特殊需求, HVA 真空閥門真空閘閥專為在閥口另外一邊隔離真空壓強.
28200 系列半矩形真空閘閥特點
1. 幾乎沒有微粒產(chǎn)生
2. 平穩(wěn)操作, 無振動
3. 標準或定制法蘭
4. 百萬或者更多使用周期
28200 系列半矩形真空閘閥規(guī)格
連接形式： | 標準或定制法蘭 |
|---|---|
主體材料： | 不銹鋼 |
公稱通徑： | DN32*222-DN100*1250 mm |
漏率: | 2x10E-9 AtmCC/Sec |
壓力范圍: | 1x10E-9 Torr |
烘烤溫度: | 《150℃ |
適用介質(zhì)： | 水、蒸汽、空氣 |
密封形式： | 軟密封型 |
驅(qū)動方式： | 氣動 |
使用壽命: | 1000000+使用周期 |
28200 系列半矩形真空閘閥應用
他們可以單個或者成雙使用以提供適當?shù)耐ㄟ^或者密封系統(tǒng)的任何部分. 一個狹窄的輪廓設計, 包括兩個驅(qū)動器和控制器, 可以緊挨著中心, 加載互鎖真空室, 處理和進程室安裝.
28200 系列半矩形真空閘閥部件圖
