納米機械手、納米操縱儀
簡介： 結合掃描電鏡或光學顯微鏡，該納米操縱儀（納米機械手）可實現(xiàn)原位的納米級操縱、移動、切割、焊接、力學性能測量、電學性能測量等各種實驗，廣泛應用于納米機器人、材料科學、生命科學、半導體等各領域。
納米機械手、納米操縱儀簡介： 結合掃描電鏡或光學顯微鏡，該納米操縱儀（納米機械手）可實現(xiàn)原位的納米級操縱、移動、切割、焊接、力學性能測量、電學性能測量等各種實驗，廣泛應用于納米機器人、材料科學、生命科學、半導體等各領域。
產品概述：納米機械手、納米操縱儀
TNI LF系列納米機械手是市面上自動化程度的納米操作儀器。它具有定位精度高、重復精度高、基本無漂移、閉環(huán)控制等優(yōu)點。
除可配備鎢探針外，還可選配納米鑷子、納牛級力學傳感器、MEMS加熱模塊等各種附件。
性能指標
系統(tǒng)整體
系統(tǒng)尺寸：13´13´2.5厘米
機械手數(shù)量： 1 – 4 個
機械手粗動
移動方式：粘滑運動
移動范圍： 10 mm in XY, 5 mm in Z
大移動速度： >3 mm/sec
小移動步幅： <100 nm
機械手微動
移動方式：無摩擦柔性鉸鏈
移動范圍： 20 μm in XYZ
大移動速度： >45 μm/sec
開環(huán)移動精度： 0.1 nm
閉環(huán)移動精度： 1 nm
準確性：<5 nm
漂移： <0.35 nm/minute
軟件功能
探針自動移動至鼠標劃過的任意位置
探針移動速度隨電鏡圖像放大倍數(shù)自動調整
探針坐標位置的存在/調用
探針位置實時3D 顯示
傳感器自動校準
等等
