WS-1000濕法設(shè)備
l 全白色聚丙烯構(gòu)造
l 可內(nèi)置任何Laurell公司的旋涂機
l 排放簡便的入氮口和DI噴頭
l 如果需要更小尺寸——有微型的供選擇
一般信息
Laurell公司的WS-1000系列旋轉(zhuǎn)處理濕法設(shè)備可以被配置成測試模塊構(gòu)造，安裝簡便，易于拆卸，更便于操作者控制。典型的WS-1000處理過程包括（但不限于）：
l 涂敷
l 蝕刻
l 開發(fā)-水/溶劑
l 清洗-水/溶劑
l 確認(rèn)，硫酸/雙氧水（原樣混合）
l 確認(rèn)，HBr
l 溫控開發(fā)
l 沖洗/烘干
特點：
全聚丙烯構(gòu)造（見下文的自滅火功能）
可兼容安裝任何Laurell 旋涂機
有排孔的濕隔層（易于拆除）
潮濕的空間
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的排氣空間
被熱水器，水泵，容器等隔離的組件/容器
選項：
l 排氣聯(lián)鎖控制處理器（一些型號是標(biāo)準(zhǔn)的）
l 加熱和原材料攪拌
l 抵抗力沖洗
l 排水轉(zhuǎn)向裝置
l 真空負(fù)荷棒
l 晶片盒座
l 檢漏
l 輕塔
可以根據(jù)要求采用更高級的材料
更好的
WS-1000-CP5 符合SEMI S93標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用在消防安全和潔凈空間等領(lǐng)域。CP5符合UL94 V-O 火災(zāi)分類標(biāo)準(zhǔn)。它具有優(yōu)良的平衡的物理性能，耐化學(xué)藥品性和耐火性。
*的
WS-1000-CP7-D的材料阻燃特性符合zui嚴(yán)格的FMRC 4910測試標(biāo)準(zhǔn)，滿足多方面條件下的難燃性，自熄特點和*燃燒。這種*的材料也達(dá)到或超過產(chǎn)生低煙和zui小毒副產(chǎn)品的檢測標(biāo)準(zhǔn)。
