儀器特點(diǎn):
搭載MS-WINDOWS系統(tǒng)(*的操作性與高精度測(cè)定)
與IBM PC 相容個(gè)人電腦
使用與IBM PC相容個(gè)人電腦,采用MS-WINDOWS軟體,使用時(shí)多彩多姿。
采用二種濾波器
用用數(shù)位式濾波器外另有機(jī)械式濾波器(兩種濾波器),在測(cè)定時(shí),若是zui適當(dāng)?shù)臈l件下,經(jīng)??傻玫絲ui高的精度。
準(zhǔn)值儀5種孔徑內(nèi)藏式
zui小的準(zhǔn)值儀孔徑僅0.1 mm,可測(cè)定極微小的部品。
標(biāo)準(zhǔn):0.1,0.2,0.5,1.0,2.0另備有2種特別規(guī)格可供選購。
0.05,0.1,0.2,0.3,0.5
0.05*0.5,0.1,0.2,0.3,0.5
自動(dòng)測(cè)定測(cè)量臺(tái)
利用滑鼠來調(diào)整測(cè)量位置,非常敏捷快速?;蚴菧y(cè)量位置已完成登陸時(shí),可連續(xù)自動(dòng)測(cè)定,利用座標(biāo)補(bǔ)正、連結(jié)頻道,來應(yīng)付各種測(cè)量軌跡。亦可用自動(dòng)測(cè)定來作標(biāo)準(zhǔn)片校正。
*的顯示機(jī)能
測(cè)定部顯示盡像的表示
X線照射部可由WINDOWS畫面上取得照射部的表示。從準(zhǔn)儀照射測(cè)定物的位置,可由倍率率更機(jī)能來實(shí)現(xiàn)盡面上測(cè)出物放大。
在膜厚測(cè)定中的能譜表示
由多頻分析器可快速處理能譜分析??蓤?zhí)行測(cè)定物的能譜分析表示,操作簡(jiǎn)單。
提長(zhǎng)資料處理的速度
充實(shí)測(cè)量報(bào)告的作成機(jī)能
采用MS-WINDOW軟件,測(cè)定畫的擷取,非常簡(jiǎn)便,可充襯測(cè)量報(bào)告的制作機(jī)能??赏瑫r(shí)間隔處理多項(xiàng)工作,機(jī)器在測(cè)量中亦可處理其他工作:包括如測(cè)量報(bào)告的制作。
測(cè)定物膜厚附著分布表示
以三次元圖案來表示測(cè)定物膜厚附著狀態(tài)的分布,作判定時(shí)一目了然。
獲得安心的保證性。
自己診斷機(jī)能及X線管保食機(jī)能
自己診斷機(jī)能,迅速的對(duì)策來排除機(jī)器的因擾。附有X線管的使用時(shí)間及耐久時(shí)間表示機(jī)能,可加強(qiáng)保養(yǎng)的安全性。
各機(jī)型規(guī)格參數(shù):
機(jī)型 | 手動(dòng)測(cè)量臺(tái) | 自動(dòng)測(cè)量臺(tái) | ||
測(cè)量主體 | 測(cè)量臺(tái)尺寸(mm) | 170*110 | 240*220 | |
移動(dòng)量 | X(mm) | 70 | 200 | |
Y(mm) | 70 | 200 | ||
Z(mm) | 50(zui大150) | 50 | ||
測(cè)定物zui大高度(mm) | 50(option 150) | 50 | ||
尺寸(mm) | 602(W)*463(D)*732(H) | |||
重量(kg) | 55 | 61 | ||
樣品zui大何重(kg) | 3 | 1 | ||
電腦 | 尺寸(mm) | 本體182(W)*383(D)/顯示幕412(W)*415(D)*432(H) | ||
電腦重量(kg) | 本體9/顯示幕16 | |||
印表機(jī) | 重量(kg) | 5.2 | ||
電源 | AC100V±10V(option AC115V、AC230 |
儀器詳細(xì)介紹:
1. X線源 | 油浸式1.2mA小型微小焦點(diǎn)X線管. 50kV管電壓,可變管電壓。 | |
2. 照射方式 | 由上而下垂直照射方式。 | |
3. 檢出器 | 比例計(jì)數(shù)管。 | |
4. 濾波器 | 採(cǎi)用 Co 和 Ni 雙濾波器及數(shù)位式濾波器,可單一或同時(shí)使用。 | |
5. 準(zhǔn)直儀 | Collimator 採(cǎi)用五種孔徑一體成型式,可自動(dòng)切換使用。 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0 ψ㎜. (選購) 0.05 ×0.5, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5 ψ㎜. (選購) 0.05, 0.1, 0.2, 0.3, 0.5 ψ㎜. | |
6. 樣品觀測(cè)系統(tǒng) | 彩色CCD及高畫質(zhì)顯示幕。 | |
7. 多能譜分析器 | 使用256高頻分析器,光譜自動(dòng)分析,在執(zhí)行測(cè)量及運(yùn)算時(shí),非常快速。 | |
電腦操作部: | 8. 電腦系統(tǒng)(※僅供參考) | IBM 相容中文個(gè)人電腦. CPU:In Celeron 1GHz. RAM:128 MB. Floppy Disk:3.5 ×1, 40倍速 CD-ROM ×1. Hard Disk:40 GB. 17" 高畫質(zhì)顯示幕. EPSON彩色噴墨式印表機(jī)。 |
9. 本機(jī)型(COSMOS-1X系列)之操作系統(tǒng)採(cǎi)中文視窗(Windows98)對(duì)話式操作,非常簡(jiǎn)便。 | ||
特性說明: | 10. 測(cè)量項(xiàng)目 | 單層膜厚測(cè)定. 2層膜厚測(cè)定. 3層膜厚測(cè)定. 無電解鎳膜厚測(cè)定. 合金膜厚成份比同時(shí)測(cè)定. 元素的光譜峰值測(cè)定分析. |
11. 測(cè)量材質(zhì) | 原子序22(Ti) ~ 82(Pb)為激發(fā)法測(cè)量。 原子序22以下為吸收法測(cè)量。 | |
12. 測(cè)量範(fàn)圍 | 原子序22 ~ 24 , 約 0.2 ~ 20 um. 原子序25 ~ 40 , 約 0.1 ~ 30 um. 原子序41 ~ 51 , 約 0.2 ~ 70 um. 原子序52 ~ 82 , 約 0.05~ 10 um. | |
13. 測(cè)量機(jī)能 | 同一點(diǎn)重複測(cè)定機(jī)能 輸出形式設(shè)定. 能譜測(cè)定. | |
14. 測(cè)量條件或膜厚規(guī)格可以保存 | 當(dāng)要測(cè)量相同的製品時(shí),若測(cè)量條件已儲(chǔ)存,可以馬上進(jìn)行測(cè)量。 zui大檢量線檔案數(shù):可登錄儲(chǔ)存100組檔案。 zui大測(cè)量檔案數(shù) :可登錄儲(chǔ)存300組檔案。 | |
15. 檔案記錄 | 每一個(gè)批號(hào)可儲(chǔ)存無限個(gè)測(cè)量資料.(因所使用的電腦之容量大小而定) 每一個(gè)測(cè)量檔案可輸入及儲(chǔ)存公司名稱. 每個(gè)批號(hào)可單獨(dú)執(zhí)行統(tǒng)計(jì)處理. 每個(gè)測(cè)量檔案可輸入不同的檢量線(校正曲線). | |
16. 資料處理 | 統(tǒng)計(jì)值表示:平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、zui大值、zui小值、上下限值範(fàn)圍、Cp、Cpk。 X-R 管制圖. 柱狀圖:有自動(dòng)設(shè)定及自己任意設(shè)定二種方式。 可彩色列印觀物顯示幕上所觀測(cè)之圖像。 | |
17. 底材補(bǔ)正 | 當(dāng)樣品與標(biāo)準(zhǔn)片的底材不同時(shí),可作底材補(bǔ)正。 | |
18. 觀物顯示幕 | 十字刻度線的高解析度彩色觀物顯示幕 | |
安全裝置. | 19. 本機(jī)俱有自動(dòng)安全斷電系統(tǒng)功能. | |
20. 由鎖匙開關(guān)來控制X 線輸出,以防止外人任意操作. | ||
其他機(jī)能. | 21. 密碼辨識(shí)功能 | |
22. 裝置維護(hù)調(diào)整 | ||
23. 測(cè)量部主機(jī) | 尺寸:362(W) ×425(D) ×486(H) ㎜. 重量:約 44.2 Kg. | |
24. 操作部:(※僅供參考) | 電腦尺寸:180(W) ×420(D) ×360(H) ㎜. 重量:約 8.8 Kg. 顯示幕尺寸:360(W) ×420(D) ×370(H) ㎜. 重量:約16.5 Kg. 印表機(jī)尺寸:500(W) ×250(D) ×300(H) ㎜. 重量:約 4.3 Kg. | |
X-Y-Z軸可移動(dòng)式測(cè)量臺(tái) | 25. 測(cè)量臺(tái)尺寸及移動(dòng)量. | 測(cè)量臺(tái)尺寸 170 (W) ×100 (D) ㎜ 移動(dòng)量(X-Y-Z軸) 70 ×70 ×50 ㎜. |
26. 測(cè)量樣品限制 | 樣品限制高度: 45㎜ 樣品限制重量: 3 Kg. | |
使用電源. | 27. 電壓 | AC100V ±10V ; 50/60Hz (選購) AC110V, AC220V. |
28. 容量 | 700V |