高精度真空熱板WATTY常壓高精度熱板

高精度真空熱板WATTY常壓高精度熱板

高精度真空熱板，常壓高精度熱板，烘烤裝置，供氣裝置

產(chǎn)品介紹

高精度真空熱板

特點

面內(nèi)溫度分布高精度控制

關(guān)于形狀、尺寸等請聯(lián)系我們。

支持高達 400°C（鋁板）

使用示例

潔凈室一體化生產(chǎn)（100級、1000級）

CVD、蝕刻、灰化設(shè)備的工藝氣體供應(yīng)管線，排氣管線的設(shè)計和制造

各種管道材料和零件焊接的豐富后臺數(shù)據(jù)

焊接管道和特殊氣體的焊接

我們還可以制造管道。

使用注意事項

1. 安裝加熱器時，請擦去被加熱表面的油污、污垢等，安裝時應(yīng)確保粘合面不會形成氣穴。

2. 加熱器溫度根據(jù)使用條件（工作溫度等）而變化，因此，如果加熱器表面溫度可能超過200°C，請在使用前控制加熱器表面溫度。

常壓高精度熱板

特點

與加熱器一體型相比，重量輕、功耗低

通過分體設(shè)計實現(xiàn)FPD G8尺寸的高精度分布

支持高達400℃

使用示例

1.抗蝕劑、彩色濾光片等的烘烤（FEOL）

2.探針臺（BEOL）等檢查設(shè)備

3.用于掩模玻璃加熱

烘烤裝置

特點

我們將根據(jù)應(yīng)用提出單片式和多級式等建議。

從用于測試和研究的手動式到用于批量生產(chǎn)的具有自動傳送機構(gòu)的裝置的

設(shè)計和制造

供氣裝置

特點

潔凈室一體化生產(chǎn)（100級、1000級）CVD、蝕刻和灰化設(shè)備的工藝氣體供應(yīng)管線和排氣管線的設(shè)計和制造

豐富的后臺數(shù)據(jù)對應(yīng)各種管道材料及零件的焊接

我們還生產(chǎn)焊管和特殊氣體用焊管。還可以實現(xiàn)交貨時間短和小批量生產(chǎn)。