直線式勞埃透鏡鍍制機，是為高能同步輻射光源（HEPS）研發(fā)的儀器裝備，用于制備硬X射線納米聚焦的勞埃透鏡膜層。最主要的特點是膜層層數(shù)多（數(shù)千層甚至更多）且膜層位置和厚度精度高（總位置平均誤差小于±5nm，每層的厚度誤差小于0.1nm）。為了保證每個膜層的厚度精度，采用磁控濺射技術(shù)來實現(xiàn)膜片的制備，其優(yōu)點是，能夠精確控制膜層厚度，重復性好，薄膜與基片結(jié)合緊密，薄膜純度高、致密性好。
性能參數(shù)：
進樣室
本底極限真空度<8×10-5Pa
腔室漏率<1×10-7Pa.L/s
基板加熱溫度≥500℃
沉積室
極限真空度：<8×10-6Pa
腔室漏率<1×10-8Pa.L/s
靶位個數(shù)≥9個
靶與樣品間距離60~100mm手動可調(diào)
單個電源可切換的靶位個數(shù)≥4個
基板加熱溫度≥200℃
運動系統(tǒng)速率穩(wěn)定性≤0.1% /300mm
運動系統(tǒng)直線度≤30μm/300mm
檢測室
極限真空度：<8×10-6Pa
腔室漏率<1×10-8Pa.L/s
| 產(chǎn)品名稱 | 參考價 | 地區(qū) | 公司名稱 | 更新時間 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 孢子分析儀器 | ￥23000 | 濰坊市 | 山東萬象環(huán)境科技有限公司 | 2025-04-14 | 在線詢價 |
| 辦公家具檢測儀器生產(chǎn)廠家 | ￥5000 | 東莞市 | 廣東海達儀器有限公司 | 2025-06-04 | 在線詢價 |
| 過濾式消防自救呼吸器人員佩戴適用性裝置儀 | ￥550000 | 上海市 | 上海徽濤自動化設(shè)備有限公司 | 2025-07-16 | 在線詢價 |
| 低碳鋼剪切性能測試儀器 | 面議 | 濟南市 | 濟南川佰儀器設(shè)備有限公司 | 2025-06-04 | 在線詢價 |
| LDTO-100型壓電傳感器靈敏度測試儀 | ￥555 | 北京市 | 北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司 | 2024-12-17 | 在線詢價 |
| GB/T 17344-1998包裝容器氣密性測試儀 | ￥2998 | 濟南市 | 山東普創(chuàng)工業(yè)科技有限公司 | 2025-01-14 | 在線詢價 |
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