產品介紹
微波MW離子源采用電子回旋共振ECR激發(fā)等離子體，不僅有圓形口徑，也有長條矩形源，矩形源可以通過增加射頻頭來增加長度，最長可達2m。
系統(tǒng)參數
scia 微波離子源 MW系列 | |||
MW120-e | MW218-e | LIN380-e/LIN580-e | |
離子源形狀 | 圓形 | 圓形 | 長條形 |
離子束尺寸 | Φ110mm | Φ218mm | 110mm(寬) x 380mm(長) 長度方向可延，以 200mm 延長單元，最長可達 1780mm |
ECR激發(fā) | 采用永磁鐵的電子回旋共振（ECR) 激發(fā)等離子體, 2.45GHz | ||
阻抗匹配 | 自動調諧 | ||
離子束流 | 120 mA | 300 mA | 480 mA (LIN380) |
微波電源 | 微波磁控 2.45GHz, 400W 高壓發(fā)生器 | 雙微波磁控 2.45GHz, 雙 400W 高壓發(fā)生器 | |
柵網系統(tǒng) | 3-grids, 石墨、鉬 | ||
應用 | 離子束刻蝕（IBE/IBM）、輔助鍍膜、清潔 | 大面積濺射鍍膜、 大面積輔助鍍膜或清潔、 大面積刻蝕或微結構制造 | |
