德國BMT WLI白光干涉儀

       采用ACM 600 共焦顯微鏡可對物體的表面和結(jié)構(gòu)進行非接觸式的測量，評估和顯示。裝配不同的顯微物鏡，測量視場大小和精度也不同。視場的擴展可通過釘合的方式來實現(xiàn)。 
       ACM 600 使用特殊的微透鏡掃描盤，使采集的單個測量點相互平行。ACM 600目前是*商業(yè)化的采用微透鏡掃描盤的儀器。與尼普科夫掃描盤相比，微透鏡掃描盤使光學系統(tǒng)反應快速，所以即使暗淡的表面也能夠獲得良好的測量結(jié)果。它的另外的*之處在于采用了LED作為光源，避免了使測量頭發(fā)熱，因而它的壽命幾乎可以視為無限長。儀器配備了物鏡切換盤，可以快速轉(zhuǎn)換物鏡。
       檢測物件的設定和測量全過程可以通過一個獨立的監(jiān)視器觀察。測量軟件基于Windows XP操作系統(tǒng)編制，并提供所有標準的評估程序。 
       儀器結(jié)構(gòu)緊湊，耐用，特別適用于工業(yè)用途。在微透鏡掃描盤自動伸出后，儀器可作為普通的顯微物鏡使用。

主要用途：
◆  粗糙和光滑表面的測量和顯示
◆  亞微米范圍內(nèi)的微觀形貌測量
◆  金相測量
◆  非接觸式表面輪廓的計量

主要特點
◆  0,1mm2到0,7mm2視場
◆  采用釘合方式擴大視場
◆  配置物鏡切換盤
◆  確定垂直分辨率來設定測量時間
◆  橫向分辨率可達1祄，垂直分辨率zui高可到5 nm 
◆  具有采用微透鏡掃描盤的快速光學系統(tǒng)
◆  全自動數(shù)據(jù)評估
◆  實驗室和在線兩用設計

主要優(yōu)點：
◆  高保真輪廓復現(xiàn)，對物體三維結(jié)構(gòu)快速，非接觸式的定性和量化
◆  測量結(jié)果與材料表面性能無關(guān)
◆  根據(jù)用戶需求配置系統(tǒng)和軟件
◆  無人干預全自動測量過程
◆  將微透鏡掃描盤自動伸出后可作為普通的顯微物鏡使用
◆  采用壓電驅(qū)動或步進電機進行垂直掃描