德國BMT公司生產的SMS測量系統(tǒng)是用于非接觸表面測量分析的三維光電測量系統(tǒng)。按客戶要求可選配其它多種光學位移測量傳感器，如：自聚焦傳感器、白光干涉系統(tǒng)、共焦傳感器、觸針式傳感器、三角測量傳感器、色敏傳感器。工作站基本配置為精密的大理石橋式測量臺和X、Y移動工作臺。測量數據的采集是通過BMT三維軟件包完成的。數據采集速度快、表面輪廓復現度高。光斑軌跡小以及傾斜度大的輪廓，可以對宏觀和微觀結果進行量化。所有的測量軸都具有納米分辨率，模塊化設計使系統(tǒng)可用于不同的測量任務。軟件系統(tǒng)界面直觀，操作方便，可以選配電機驅動Z軸來擴大測量范圍。
主要用途
◆ 任何粗糙、光滑表面檢查和測量（可選用不同的傳感器）
◆ 用于金屬片、紙、玻璃塑膠、晶片、*等行業(yè)
◆ 其他表面的微觀形貌測量
◆ 微型機械元件的尺寸測量
◆ 金相測量
◆ 微小或較大區(qū)域內直線度、平面度、臺階高度、粗糙度的測量計算
◆ 用于金屬片、紙、玻璃塑膠、晶片、*等行業(yè)
◆ 其他表面的微觀形貌測量
◆ 微型機械元件的尺寸測量
◆ 金相測量
◆ 微小或較大區(qū)域內直線度、平面度、臺階高度、粗糙度的測量計算
主要特點
◆ 非接觸測量表面輪廓、反射率、垂直和橫向尺寸
◆ 測量范圍：X、Y方向可達300mm、Z軸可達50mm
◆ 橫向分辨率優(yōu)于1μm，Z軸分辨率zui高接近1mm（取決于傳感器）
◆ 可用顯微鏡和照相機觀察表面（選配）
◆ 二維/三維粗糙度測量分析、快速傅立葉變換、自相關函數并可測平面度、臺階高度、斜坡
◆ 采用宏匯編語言實現自動化測量
◆ 測量范圍：X、Y方向可達300mm、Z軸可達50mm
◆ 橫向分辨率優(yōu)于1μm，Z軸分辨率zui高接近1mm（取決于傳感器）
◆ 可用顯微鏡和照相機觀察表面（選配）
◆ 二維/三維粗糙度測量分析、快速傅立葉變換、自相關函數并可測平面度、臺階高度、斜坡
◆ 采用宏匯編語言實現自動化測量
主要優(yōu)勢
◆ 快速分析表面結構且結構緊湊
◆ 自動數據采集和評估
◆ 用戶搭配的測量系統(tǒng)
◆ 測量范圍大
◆ 合理的價格
