■ 產品特性
1.采用高性能的壓電陶瓷驅動;
2.具有開環(huán)和閉環(huán)兩種規(guī)格型號;
3.采用數控、線切割等加工工藝,嚴格保證構結精度;
4.采用計算機有限元仿真分析等現代設計方法設計微動結構;
5.采用*的表面處理工藝,提高了適應不同工作環(huán)境的能力;
6.超高性能的開/閉環(huán)掃描平臺。
■ 產品描述
二維XY軸 PS2H30-005U是一個超高性能閉環(huán)壓電掃描系統(tǒng)。它是AFM、SPM和STM的而設計的應用平臺,它結合了超低慣量,具有很高的分辨率反饋,這款掃描系統(tǒng)小而堅固,很容易集成在任何掃描裝置內。