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2025
07-01

激光拉曼光譜氣體分析儀助力鋼鐵冶金行業(yè)能源精準(zhǔn)結(jié)算
行業(yè)背景鋼鐵廠和發(fā)電廠之間的煤氣與電力互供合作，是跨行業(yè)能源協(xié)同利用的典型范例。鋼鐵生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量副產(chǎn)煤氣，包括高爐煤氣、焦?fàn)t煤氣和轉(zhuǎn)爐煤氣等，這些煤氣富含較高熱值，是優(yōu)質(zhì)的能源資源。與此同時(shí)，發(fā)電廠需要穩(wěn)定的燃料供應(yīng)以維持電力生產(chǎn)。鋼鐵行業(yè)作為能源消耗大戶，用電成本在其生產(chǎn)成本中占據(jù)較高比例。通過(guò)這種合作模式，鋼鐵廠將副產(chǎn)煤氣輸送至發(fā)電廠用于發(fā)電，發(fā)電廠則將電能回輸給鋼鐵廠，從而實(shí)現(xiàn)能源的高效利用，同時(shí)顯著減少溫室氣體排放，推動(dòng)綠色低碳發(fā)展。這種協(xié)同合作模式的歷史可追溯至20世紀(jì)末期。當(dāng)
2025
06-30

四方儀器激光拉曼：精準(zhǔn)熱值測(cè)量助力收益顯著提升
濟(jì)寧盈寶氣體有限公司依托變壓吸附（PSA）焦?fàn)t煤氣提氫技術(shù)，將PSA工藝產(chǎn)生的解吸氣作為清潔燃?xì)夤?yīng)給開(kāi)發(fā)區(qū)下游客戶，并采用熱值結(jié)算模式。公司在解吸氣出口部署四方儀器激光拉曼光譜分析儀，實(shí)現(xiàn)燃?xì)饨M分與熱值的同步測(cè)量。相較于非分光紅外、氣相色譜等傳統(tǒng)分析設(shè)備，該設(shè)備具備測(cè)量組分全面、前處理系統(tǒng)簡(jiǎn)單、故障率低、響應(yīng)速度快等顯著優(yōu)勢(shì)?，F(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用數(shù)據(jù)顯示，清潔燃?xì)鉄嶂禂?shù)據(jù)較之前提升200-300kcal/m3，穩(wěn)定在4800-5500kcal/m3區(qū)間，預(yù)計(jì)為企業(yè)清潔燃?xì)鈽I(yè)務(wù)板塊新增年收益約1000萬(wàn)元。
2025
06-26

氣體監(jiān)測(cè)是化工安全的生命防線——從工業(yè)事故思考超越安全生產(chǎn)月的永恒命題
當(dāng)2025年6月“安全生產(chǎn)月”活動(dòng)進(jìn)入倒計(jì)時(shí)，化工人的心頭卻壓著一道沉重命題——如何阻止下一個(gè)爆炸事故的發(fā)生？5月27日山東高密化工廠的爆燃聲猶在耳畔，事故原因仍在嚴(yán)密調(diào)查中。硝煙雖散去，警鐘卻長(zhǎng)鳴。怎樣才能讓悲劇止步于監(jiān)測(cè)儀表的警報(bào)響起之前，這不僅是六月之問(wèn)，更是化工安全365天的生死命題。歷史警鐘：泄漏監(jiān)測(cè)缺失的血色啟示值此安全生產(chǎn)月宣傳之際，國(guó)家應(yīng)急管理部對(duì)以往六月發(fā)生的化工行業(yè)典型事故做出匯總。公布事故顯示，近十年僅六月發(fā)生的典型化工事故便觸目驚心：泄漏引爆占比極大：上海石化環(huán)氧乙烷管道
2025
06-25

精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)氨逃逸丨四方儀器助力固定污染源氨排放合規(guī)
1、背景概述據(jù)悉，2025年1月10日，第三輪第三批中央生態(tài)環(huán)境保護(hù)督察組向一央企進(jìn)行督察反饋。在督察反饋中提到企業(yè)大氣污染防治推進(jìn)不力，個(gè)別企業(yè)燃煤鍋爐氨逃逸問(wèn)題嚴(yán)重。氨逃逸是工業(yè)脫硝過(guò)程中未反應(yīng)的氨隨煙氣排放到大氣中的現(xiàn)象；近些年，隨著氮氧化物排放管控越來(lái)越嚴(yán)格，企業(yè)為了滿足嚴(yán)苛的氨氧化物排放標(biāo)準(zhǔn)，企業(yè)通常采用“過(guò)量噴氨"策略，犧牲氨逃逸率換取氮氧化物達(dá)標(biāo)。有的企業(yè)為節(jié)省液氨成本，刻意減少噴氨量，但氨氧化物超標(biāo)時(shí)又突擊加氨，形成“脈沖式逃逸"。2、排放標(biāo)準(zhǔn)?大氣氨排放限值國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)我國(guó)現(xiàn)行涉及
2025
06-24

摩托車國(guó)五標(biāo)準(zhǔn)排放測(cè)試系統(tǒng)解決方案
1.摩托車國(guó)五標(biāo)準(zhǔn)排放測(cè)試系統(tǒng)的需求與痛點(diǎn)我國(guó)是摩托車生產(chǎn)和使用大國(guó)，摩托車保有量約占全國(guó)機(jī)動(dòng)車總保有量的20%。摩托車對(duì)高比功率輸出的需求以及缺乏精密的發(fā)動(dòng)機(jī)結(jié)構(gòu)和排氣后處理裝置，導(dǎo)致摩托車成為燃燒副產(chǎn)物的強(qiáng)烈排放者，具有很大的健康風(fēng)險(xiǎn)。排放標(biāo)準(zhǔn)升級(jí)是機(jī)動(dòng)車污染減排的主要驅(qū)動(dòng)力。自1994年開(kāi)始，我國(guó)摩托車排放標(biāo)準(zhǔn)已從第一階段執(zhí)行到第四階段，CO、THC和NOx的排放總量分別削減了約97%、97%和77%。為了進(jìn)一步削減摩托車尾氣污染物排放，2024年10月31日生態(tài)環(huán)境部發(fā)布了摩托車第五階段
2025
06-23

鋼鐵冶金過(guò)程氣體監(jiān)測(cè)方案—鐵前篇
一、背景概述鋼鐵冶金行業(yè)作為國(guó)民經(jīng)濟(jì)的重要支柱產(chǎn)業(yè)，其生產(chǎn)過(guò)程復(fù)雜且涉及眾多化學(xué)反應(yīng)。鐵前工序是鋼鐵生產(chǎn)的起始階段，主要包括原材料預(yù)處理、燒結(jié)、焦化、高爐煉鐵等環(huán)節(jié)，此階段產(chǎn)生的氣體種類繁多、成分復(fù)雜，對(duì)生產(chǎn)效率、產(chǎn)品質(zhì)量以及環(huán)境安全均有著至關(guān)重要的影響。因此，建立一套精準(zhǔn)、高效的鐵前過(guò)程氣體監(jiān)測(cè)方案，對(duì)于保障鋼鐵生產(chǎn)的穩(wěn)定運(yùn)行、節(jié)能減排以及實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展具有深遠(yuǎn)意義。二、工藝簡(jiǎn)介下圖為鋼鐵冶金過(guò)程的鐵前工序流程圖，其主要涵蓋三個(gè)部分，分別為煉焦、燒結(jié)和高爐煉鐵。其中鐵前爐料制備工序主要包括煉焦
2025
06-20

可再生能源氣體監(jiān)測(cè)-湖北大型生物質(zhì)氣發(fā)電企業(yè)氣化爐尾氣在線監(jiān)測(cè)項(xiàng)目
項(xiàng)目背景合作背景在"雙碳"目標(biāo)驅(qū)動(dòng)下，國(guó)家《"十四五"生物經(jīng)濟(jì)發(fā)展規(guī)劃》明確提出推進(jìn)農(nóng)林廢棄物能源化利用，2023年國(guó)家能源局將生物質(zhì)氣化發(fā)電列為可再生能源技術(shù)重點(diǎn)推廣方向。當(dāng)前行業(yè)正加速?gòu)膫鹘y(tǒng)粗放式氣化向高效清潔化轉(zhuǎn)型，但高粉塵、多干擾的氣化爐出口合成氣精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)成為制約工藝優(yōu)化的關(guān)鍵瓶頸。隨著碳交易市場(chǎng)擴(kuò)容及《生物質(zhì)發(fā)電項(xiàng)目環(huán)保技術(shù)規(guī)范》實(shí)施，企業(yè)對(duì)氣體成分連續(xù)性監(jiān)測(cè)及熱值核證的需求激增，革新性的在線分析技術(shù)可以為生物質(zhì)能高效轉(zhuǎn)化與碳資產(chǎn)開(kāi)發(fā)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)鏈支撐。項(xiàng)目介紹湖北某大型生物質(zhì)發(fā)電企業(yè)
2025
06-13

氫燃料發(fā)動(dòng)機(jī)排放測(cè)試系統(tǒng)解決方案
1.氫燃料發(fā)動(dòng)機(jī)的發(fā)展趨勢(shì)氫能作為零碳清潔能源，兼具環(huán)境效益與戰(zhàn)略價(jià)值：其燃燒產(chǎn)物僅為水，可實(shí)現(xiàn)真正的零二氧化碳排放，同時(shí)顯著降低對(duì)化石燃料的依賴。2025年1月1日，《中華人民共和國(guó)能源法》正式實(shí)施，將氫能納入國(guó)家能源體系，標(biāo)志著我國(guó)氫能產(chǎn)業(yè)進(jìn)入規(guī)范化發(fā)展的新階段。當(dāng)前氫燃料交通技術(shù)主要分為兩條路徑：?氫內(nèi)燃機(jī)汽車（H2ICE）：在燃料電池成本高、技術(shù)尚不成熟的背景下，H2ICE憑借與傳統(tǒng)內(nèi)燃機(jī)的兼容性，成為商用車及非道路機(jī)械領(lǐng)域的過(guò)渡優(yōu)選。?燃料電池汽車（FCV）：長(zhǎng)期來(lái)看仍是解決方案。行業(yè)
2025
06-04

便攜式排放測(cè)試系統(tǒng)（PEMS）實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代——非道路移動(dòng)機(jī)械法規(guī)測(cè)試應(yīng)用
一、行業(yè)背景：非道路移動(dòng)機(jī)械排放治理的緊迫性我國(guó)非道路移動(dòng)機(jī)械（主要包括工程機(jī)械和農(nóng)業(yè)機(jī)械）保有量持續(xù)增長(zhǎng)，其排放污染問(wèn)題日益突出。2023年數(shù)據(jù)顯示，工程機(jī)械、農(nóng)業(yè)機(jī)械排放的NOx分別占移動(dòng)源排放總量的14%、17%；排放的顆粒物（PM）分別占移動(dòng)源排放總量的26%、33%。非道路移動(dòng)機(jī)械排放已成為影響空氣質(zhì)量的主要污染源，亟需有效治理。圖12014-2023年工程機(jī)械和農(nóng)業(yè)機(jī)械保有量變化趨勢(shì)圖22023年工程機(jī)械和農(nóng)業(yè)機(jī)械的NOx和PM排放量分擔(dān)率二、政策驅(qū)動(dòng)：標(biāo)準(zhǔn)升級(jí)與監(jiān)管強(qiáng)化排放標(biāo)準(zhǔn)升級(jí)
2025
05-27

滲碳工藝碳勢(shì)測(cè)定：選對(duì)方法，才能控好質(zhì)量
一、滲碳工藝?yán)锏摹疤紕?shì)密碼”：為什么測(cè)準(zhǔn)碳勢(shì)這么重要？在熱處理滲碳工藝中，碳勢(shì)堪稱決定工件性能的“靈魂參數(shù)”——它代表著滲碳?xì)夥张c工件表面的“碳交換能力”，直接影響表面硬度、滲層深度和組織均勻性。舉個(gè)例子，碳勢(shì)波動(dòng)0.1%，可能導(dǎo)致工件表層100μm內(nèi)碳濃度變化超0.05%，進(jìn)而影響耐磨性和疲勞壽命。對(duì)于汽車齒輪、航空軸類等關(guān)鍵部件，碳勢(shì)失控可能引發(fā)批量質(zhì)量隱患。那么，如何精準(zhǔn)捕捉這一“看不見(jiàn)的碳信號(hào)”？目前主流測(cè)定方法各有千秋，選對(duì)方法才能少走彎路。二、五大主流測(cè)定方法全解析：從傳統(tǒng)到創(chuàng)新（一
2025
05-22

四方儀器助力燃?xì)夤揪珳?zhǔn)調(diào)控?zé)嶂担_(kāi)啟降本增效新征程
一、天然氣熱值調(diào)控的必要性目前，國(guó)際天然氣貿(mào)易多采用熱值計(jì)價(jià)方式，以美元/百萬(wàn)英熱（$/MMBtu）為計(jì)量單位；而我國(guó)天然氣終端用戶結(jié)算則多采用體積計(jì)價(jià)方式，以元/立方米（RMB/m3）為單位。在這種情況下，當(dāng)進(jìn)口的液化天然氣（LNG）或管道天然氣的熱值高于國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)熱值時(shí)，若仍以體積計(jì)量且不采取合適的熱值調(diào)控措施，就會(huì)導(dǎo)致燃?xì)夤具M(jìn)口天然氣的成本價(jià)格高，而銷售天然氣的價(jià)格相對(duì)較低，從而增加企業(yè)成本，不利于公司的長(zhǎng)期經(jīng)營(yíng)和發(fā)展。如果組分和熱值差異較大的天然氣同時(shí)進(jìn)入管網(wǎng)，可能會(huì)引發(fā)一系列問(wèn)題。首先
2025
05-15

長(zhǎng)期關(guān)稅博弈倒逼國(guó)產(chǎn)替代，自主氣體分析儀器助力企業(yè)降本破局
一、關(guān)稅博弈下的行業(yè)困境：進(jìn)口設(shè)備成本失控2024年5月以來(lái)，中美歐關(guān)稅博弈持續(xù)升級(jí)：美國(guó)擴(kuò)大對(duì)華高額關(guān)稅覆蓋領(lǐng)域，歐盟加速推進(jìn)反補(bǔ)貼調(diào)查，技術(shù)圍堵態(tài)勢(shì)愈演愈烈。2025年開(kāi)年后，關(guān)稅博弈更是顯現(xiàn)出多變的嚴(yán)峻形勢(shì)，盡管近期部分消費(fèi)品關(guān)稅松動(dòng)，但儀器設(shè)備進(jìn)口成本受地緣政治與供應(yīng)鏈斷裂雙重沖擊陡增，疊加歐美技術(shù)捆綁與認(rèn)證壁壘，國(guó)內(nèi)企業(yè)越發(fā)深陷入“買不起、修不起、換不動(dòng)”的困境。與此同時(shí)，環(huán)保政策趨嚴(yán)與進(jìn)口替代滯后的矛盾進(jìn)一步激化，在這一復(fù)雜態(tài)勢(shì)下，構(gòu)建自主可控的氣體分析儀器技術(shù)鏈與供應(yīng)鏈，已從“戰(zhàn)略
2025
05-09

半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積設(shè)備腔室清潔終點(diǎn)檢測(cè)解決方案
1.腔室清潔終點(diǎn)精確控制的重要性與挑戰(zhàn)薄膜沉積（如CVD/ALD）、光刻和刻蝕是半導(dǎo)體制造的三大核心工藝，其中薄膜沉積作為基礎(chǔ)環(huán)節(jié)，負(fù)責(zé)金屬、介質(zhì)及半導(dǎo)體薄膜的制備。為確保薄膜沉積工藝的穩(wěn)定性，需定期使用NF?對(duì)腔室進(jìn)行清潔，以去除積聚的聚合物材料。精確控制清潔終點(diǎn)至關(guān)重要：l清潔不足：殘留沉積物會(huì)形成顆粒污染，導(dǎo)致產(chǎn)品良率下降l過(guò)度清潔：增加NF?消耗、延長(zhǎng)設(shè)備停機(jī)時(shí)間并縮短腔室壽命。傳統(tǒng)方法依賴經(jīng)驗(yàn)時(shí)間控制清潔終點(diǎn)，但最佳清潔時(shí)間受多變量影響（如沉積厚度、溫度、壓力、氣體流量及材料化學(xué)組成）
2025
05-08

四方儀器：以創(chuàng)新科技助力綠色轉(zhuǎn)型，共筑生態(tài)未來(lái)
2025年4月23日，習(xí)近平主席在氣候和公正轉(zhuǎn)型領(lǐng)導(dǎo)人視頻峰會(huì)上發(fā)表致辭，強(qiáng)調(diào)各國(guó)應(yīng)堅(jiān)守多邊主義、深化國(guó)際合作、推動(dòng)公正轉(zhuǎn)型、強(qiáng)化務(wù)實(shí)行動(dòng)，中國(guó)將深化南南合作并宣布覆蓋全經(jīng)濟(jì)范圍、包括所有溫室氣體的2035年國(guó)家自主貢獻(xiàn)目標(biāo)，攜手推動(dòng)全球氣候治理和進(jìn)步事業(yè)，引發(fā)國(guó)際社會(huì)廣泛關(guān)注和積極反響。習(xí)近平主席在致辭中指出，“全球氣候治理雖然歷經(jīng)風(fēng)雨，但綠色低碳發(fā)展終成時(shí)代潮流”“只要我們堅(jiān)定信心，加強(qiáng)團(tuán)結(jié)合作，就一定能沖破逆流，推動(dòng)全球氣候治理和世界一切進(jìn)步事業(yè)行穩(wěn)致遠(yuǎn)”。同時(shí)，習(xí)近平主席在致辭中說(shuō)，“中
2025
04-27

車內(nèi)缺氧隱患：被忽視的二氧化碳濃度監(jiān)測(cè)
在長(zhǎng)途駕駛過(guò)程中，很多車主都曾經(jīng)歷過(guò)這樣的困擾：關(guān)閉車窗長(zhǎng)時(shí)間駕駛后，逐漸感到困倦、注意力渙散，甚至出現(xiàn)頭痛等癥狀。傳統(tǒng)認(rèn)知往往將這些現(xiàn)象簡(jiǎn)單歸咎于“車內(nèi)缺氧”，但真正的元兇其實(shí)是不斷累積的二氧化碳（CO2）。相較于室內(nèi)環(huán)境，車內(nèi)空間更為狹小密閉，CO2濃度的上升速度更快，對(duì)行車安全的影響更為直接且嚴(yán)重。缺氧的本質(zhì)：CO2的“隱形攻擊”科學(xué)研究表明，在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下，車艙內(nèi)的氣體變化具有特殊性?？諝庵醒鯕獾恼：渴?1%，對(duì)人體產(chǎn)生影響的臨界值為19.5%，低于臨界值人體易呼吸加速感到疲勞無(wú)力，
2025
04-25

四方光電一氧化碳報(bào)警器：守護(hù)住宅與商業(yè)空間室內(nèi)安全
一氧化碳(CO)是一種無(wú)色無(wú)味的有毒氣體。根據(jù)英國(guó)衛(wèi)生與社會(huì)保障部研究數(shù)據(jù)，英國(guó)每年平均發(fā)生50起家庭一氧化碳中毒致死事件，并導(dǎo)致高達(dá)4,000例醫(yī)療就診。為降低一氧化碳中毒事件發(fā)生率，近年來(lái)多國(guó)相繼出臺(tái)法規(guī)強(qiáng)制要求室內(nèi)安裝一氧化碳報(bào)警器。在政策驅(qū)動(dòng)下，室內(nèi)一氧化碳報(bào)警器的安裝已成為強(qiáng)制性安全措施，這也直接推動(dòng)了全球一氧化碳報(bào)警器市場(chǎng)需求快速增長(zhǎng)。四方光電早前已成功開(kāi)發(fā)一氧化碳傳感器及報(bào)警器解決方案，致力于通過(guò)精準(zhǔn)氣體檢測(cè)技術(shù)降低中毒事故發(fā)生率。面對(duì)市場(chǎng)對(duì)OEM一氧化碳報(bào)警器的迫切需求，公司特別
2025
04-18

聚焦最嚴(yán)電池新國(guó)標(biāo)：看四方光電如何構(gòu)筑熱失控安全預(yù)警
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介隨著新能源汽車的快速發(fā)展，動(dòng)力電池的安全性成為行業(yè)核心議題。近日，工信部最新頒布的GB38031-2025《電動(dòng)汽車動(dòng)力蓄電池安全要求》將于2026年7月1日正式實(shí)施，以熱失控防護(hù)為核心構(gòu)建多重生死防線，被稱為史上最嚴(yán)電池安全令”。核心修訂內(nèi)容如下：?熱失控防護(hù)升級(jí)：電池系統(tǒng)在單體熱失控后2小時(shí)內(nèi)必須不起火、不爆炸；?溫度嚴(yán)格管控：所有監(jiān)測(cè)點(diǎn)溫度≤60℃；?報(bào)警響應(yīng)提速：熱失控信號(hào)需在5分鐘內(nèi)發(fā)出預(yù)警，且報(bào)警前后5分鐘內(nèi)乘員艙內(nèi)無(wú)可見(jiàn)煙氣；?新增測(cè)試場(chǎng)景：新增底部撞擊及快充循環(huán)后短路測(cè)試
2025
04-17

四方光電車載顆粒物傳感器，助力艙內(nèi)空氣質(zhì)量提升
近年來(lái)，車內(nèi)空氣質(zhì)量問(wèn)題受到廣泛關(guān)注。車輛作為主要污染源，在排放顆粒物的同時(shí)，行駛過(guò)程中外部污染物也會(huì)通過(guò)通風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)入艙內(nèi)。艙內(nèi)顆粒物濃度升高的成因可分為：1.外部因素大氣污染：霧霾天氣使用外循環(huán)時(shí)，低質(zhì)量外部空氣導(dǎo)致艙內(nèi)PM濃度升高交通尾氣：密閉空間內(nèi)擁堵怠速加劇有害尾氣暴露道路狀況：多塵或泥濘路況增加顆粒物侵入2.內(nèi)部因素內(nèi)飾揮發(fā)：座椅/塑料件釋放顆粒物人為活動(dòng)：吸煙、噴霧劑使用等行為3.車輛功能因素空氣循環(huán)：長(zhǎng)期內(nèi)循環(huán)導(dǎo)致污染物積聚濾芯失效：空調(diào)濾芯老化/堵塞降低過(guò)濾效率長(zhǎng)期暴露于高濃度顆
2025
04-16

四方光電電化學(xué)一氧化碳傳感器ECO-5011系列通過(guò)UL 2075認(rèn)證
四方光電股份有限公司的創(chuàng)新型電化學(xué)一氧化碳傳感器ECO-5011系列已成功獲得UL2075認(rèn)證，標(biāo)志著該系列產(chǎn)品在一氧化碳?xì)怏w檢測(cè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)與可靠性。UL2075作為氣體與蒸汽探測(cè)器的核心認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)，為包括一氧化碳（CO）在內(nèi)的氣體檢測(cè)設(shè)備開(kāi)發(fā)與認(rèn)證提供了關(guān)鍵指導(dǎo)。該標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)美國(guó)國(guó)家消防協(xié)會(huì)NFPA70《國(guó)家電氣法規(guī)》，規(guī)定了適用于室內(nèi)外環(huán)境的便攜式可燃?xì)怏w及蒸汽探測(cè)器與傳感器的技術(shù)規(guī)范。為滿足UL2075嚴(yán)苛要求，四方光電一氧化碳傳感器歷經(jīng)多項(xiàng)精密測(cè)試，涵蓋精度驗(yàn)證、耐久性測(cè)試及環(huán)境耐
2025
04-14

高精度粒子計(jì)數(shù)器在顯示面板潔凈室環(huán)境監(jiān)控中的關(guān)鍵作用
近年來(lái)，全球平板顯示面板市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大，下游消費(fèi)電子領(lǐng)域（電視、電腦、手機(jī)等）以及商用顯示、車載顯示、醫(yī)療顯示等專業(yè)顯示市場(chǎng)需求持續(xù)增長(zhǎng)。為應(yīng)對(duì)市場(chǎng)擴(kuò)容需求，LCD和OLED面板制造過(guò)程中亟需提升良品率，以確保終端市場(chǎng)產(chǎn)品供應(yīng)并維持市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。影響LCD與OLED質(zhì)量的核心要素在平板顯示制造工藝中，顆粒污染與靜電損傷是影響良率的兩大關(guān)鍵因素。隨著器件小型化與精密化發(fā)展，高密度集成電路的圖形特征尺寸及表面沉積層厚度已縮至微米級(jí)，這使得生產(chǎn)工藝對(duì)顆粒污染更為敏感?；妆砻骖w粒沉積易引發(fā)點(diǎn)缺陷甚至

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