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中級(jí)會(huì)員 | 第6年

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質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器的區(qū)別

時(shí)間:2020/6/8閱讀:3428
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途和特點(diǎn)
氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)在石化工業(yè)、生化、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場(chǎng)合包括:電子工藝設(shè)備,如:氧化、CVD、MOCVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。
結(jié)構(gòu)

氣體質(zhì)量流量計(jì)由流量傳感器(Sensor),分流器通道和流量放大電路等部件組成;在氣體質(zhì)量流量計(jì)的基礎(chǔ)上,再加上調(diào)節(jié)閥門(mén)和PID控制電路就構(gòu)成了氣體質(zhì)量流量控制器。
工作原理
•流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償)。
•將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大,放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較,再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門(mén),閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
•分流器決定主通道的流量。
•與之配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)定電源,3位半數(shù)字電壓表,設(shè)定電位器,外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開(kāi)關(guān)等。
•控制器輸出的流量栓檢測(cè)電壓與流過(guò)通道的質(zhì)量成正比,滿(mǎn)量程(F.S)流量檢測(cè)輸出電+5V。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是(2~100)%F.S(程比為50:1)

主要技術(shù)指標(biāo)

編號(hào) 項(xiàng)目 MF-200C MF-200M
1 流量規(guī)格(N2) 10sccm~30slpm 
2 準(zhǔn)確度 ±1%F.S(Full Scale)
3 重復(fù)精度 ±0.25%F.S(Full Scale)
4 響應(yīng)時(shí)間 ≤2sec(特別要求時(shí):≤1sec)
5 耐壓 ≤90bar
6 工作環(huán)境溫度 0℃~50℃
7 輸入輸出信號(hào) 0~5V 0~5V or 4~20mA
8 供電 +15Vdc or +24Vdc   350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范圍 2~100%滿(mǎn)量程

質(zhì)量流量計(jì):質(zhì)量流量計(jì)只是單純的顯示流量但并不控制。

質(zhì)量流量控制器:質(zhì)量流量控制器既能顯示顯示流量又有控制功能,流量計(jì)內(nèi)部多了個(gè)電磁調(diào)節(jié)閥來(lái)實(shí)現(xiàn)控制流量大小。

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