晶圓玻璃厚度測(cè)量?jī)x

1: 批量設(shè)置元素的公差帶及名義值.

在設(shè)置元素的公差帶和名義值時(shí)，不用一個(gè)元素一個(gè)元素的設(shè)置，這樣效率很低，可一次性批量設(shè)置公差帶和名義值，提高效率.

2: 可建立多重工件座標(biāo)系。并可以建立多重Z軸座標(biāo)系。

晶圓玻璃厚度測(cè)量?jī)x可以建立多重工件座標(biāo)系。并可以在多個(gè)不同的Z軸平面上建立不同的Z軸座標(biāo)系，這對(duì)有臺(tái)階的工件，且不同的臺(tái)階厚薄不一時(shí)，非常有用。

當(dāng)建立多重工件座標(biāo)系時(shí)，測(cè)量的數(shù)據(jù)的可以在哪一個(gè)座標(biāo)系測(cè)量的，就顯示哪一個(gè)座標(biāo)系下的數(shù)據(jù)，也可以只顯示在當(dāng)前座標(biāo)系下。

3：大半徑小圓弧的精準(zhǔn)測(cè)量

軟件創(chuàng)新算法，可以精準(zhǔn)測(cè)量大半徑小圓弧，特別是小于45度的小圓弧，能作到精準(zhǔn)測(cè)量，解決了業(yè)界的一大難題。

4：符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的形位公差計(jì)算能力。

可以計(jì)算直線度，圓度，位置度，輪廓度，平行度，傾斜度，垂直度，同心度，對(duì)稱度。

5：功能強(qiáng)大的自定義報(bào)表功能。可以按客戶的報(bào)表要求，輸出報(bào)表

6:  快速精準(zhǔn)的影像對(duì)焦功能。一次對(duì)焦動(dòng)作，最快可以1秒完成。如果對(duì)焦時(shí)間設(shè)到2到3秒。對(duì)焦重復(fù)性可達(dá)0.002mm----0.003mm

7：可以在運(yùn)行程序的過(guò)程中暫停執(zhí)行程序，并對(duì)某誤抓的元素修改后，繼續(xù)向下測(cè)量

8：可以運(yùn)行的程序步聚并將相應(yīng)的數(shù)據(jù)發(fā)送到相應(yīng)的EXCEL中。比如，當(dāng)程序運(yùn)行結(jié)果后，發(fā)現(xiàn)第5步，第8步，第23步超差，可以讓機(jī)器重新測(cè)量一次第5,8,23步，并將對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)發(fā)送到EXCEL中。