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惰性氣體質(zhì)量流量計(jì)具有如下技術(shù)優(yōu)勢：

• 真正的管道式熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)，對(duì)氣體流量測量無需溫度和壓力補(bǔ)償，測量方便、準(zhǔn)確?？傻玫綒怏w的質(zhì)量流量或者標(biāo)準(zhǔn)體積流量。
• 寬量程比，可測量流速高至120Nm/s低至0.1Nm/s的氣體，可以用于氣體檢漏。
• 抗震性能好使用壽命長。傳感器無活動(dòng)部件和壓力傳感部件，不受震動(dòng)對(duì)測量精度的影響。
• 安裝維修簡便。在現(xiàn)場條件允許的情況下，可以實(shí)現(xiàn)不停產(chǎn)安裝和維護(hù)。（需要特殊定制）
• 數(shù)字化設(shè)計(jì)。整體數(shù)字化電路測量，測量準(zhǔn)確、維修方便。
• 采用RS-485通訊，或HART通訊，可以實(shí)現(xiàn)工廠自動(dòng)化、集成化。

惰性氣體質(zhì)量流量計(jì)是基于熱擴(kuò)散原理而設(shè)計(jì)的，該儀表采用恒溫差法對(duì)氣體進(jìn)行準(zhǔn)確測量。具有體積小、數(shù)字化程度高、安裝方便，測量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)。

傳感器部分由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)鉑電阻溫度傳感器組成，儀表工作時(shí)，一個(gè)傳感器不間斷地測量介質(zhì)溫度T1；另一個(gè)傳感器自加熱到高于介質(zhì)溫度T2，它用于感測流體流速，稱為速度傳感器。該溫度ΔT=T2-T1，T2>T1，當(dāng)有流體流過時(shí)，由于氣體分子碰撞傳感器并將T2的熱量帶走，使T2的溫度下降，若要使ΔT保持不變，就要提高T2的供電電流，氣體流動(dòng)速度越快，帶走的熱量也就越多，氣體流速和增加的熱量存在固定的函數(shù)關(guān)系，這就是恒溫差原理。