公轉(zhuǎn)電機(jī) （KW） 0.75 1.5 3 4 5.5 15 15 22 30

公轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速（變頻調(diào)速）（RPM） 0-60 0-60 0-60 0-60 0-60 0-40 0-40 0-35 0-35

自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速（變頻調(diào)速）（RPM） 0-80 0-80 0-80 0-70 0-70 0-60 0-60 0-45 0-45

分散電機(jī)（KW） 1.1 2.2 4 5.5 11 18.5 22 30 37

分散轉(zhuǎn)速（變頻調(diào)速）（RPM） 0-1500 0-1500 0-1500 0-1500 0-1500 0-1500 0-1500 0-1500 0-1500

刮壁轉(zhuǎn)速（變頻調(diào)速）（RPM） 0-80 0-80 0-80 0-60 0-60 0-40 0-40 0-35 0-35

真空度（MPa） ≤0.098 ≤0.098 ≤0.098 ≤0.098 ≤0.098 ≤0.098 ≤0.098 ≤0.098 ≤0.098

升降行程（mm） 220 400 500 600 650 700 900 1000 1100

重量（kg） 250 800 1000 1750 2500 3000 3500 4500 6500

外型尺寸 長（mm） 700 750 850 1800 1900 2000 2300 2670 2900

寬（mm） 400 600 600 900 900 950 1080 1100 1400

高（m） 1700 1800 1800 1800 2000 2000 2400 3600 3900

升降形式 液壓升降