真空機械手產(chǎn)品概述：

真空機械手主要應(yīng)用于半導(dǎo)體加工過程中，是負責(zé)真空端不同工位間晶圓傳送的關(guān)鍵自動化設(shè)備。北京自動化技術(shù)研究院研制的真空機械手系列產(chǎn)品分為單軸真空機械手和雙軸真空機械手。單軸真空機械手可實現(xiàn)伸展運動；雙軸真空機械手可實現(xiàn)伸展和旋轉(zhuǎn)運動。產(chǎn)品具有碰撞檢測和自我保護的功能；模塊化設(shè)計，可以根據(jù)客戶需求定制，具有高兼容性和高拓展性，可滿足對設(shè)備升級的要求。

真空機械手/集成電路設(shè)備

真空機械手

機械手由輕結(jié)構(gòu)鋼管構(gòu)件、真空吸盤、真空器、電磁控制閥、真空開關(guān)等零部件組成。由于嚴(yán)格按照工件和用戶的要求設(shè)計機械手，所以在設(shè)計時采用了標(biāo)準(zhǔn)化的機械人連接接口，而且機械手的真空吸盤可以適合各種不同工件。企業(yè)在實踐中積累了豐富的機械手設(shè)計經(jīng)驗，所設(shè)計的機械手*的能與板材吻合，并能毫無問題的與機器人連接，具有很高的剛性和板材輸送精度。由于機械手的手臂采用的是鋼管結(jié)構(gòu)件，因此運動控制離合器、連接件和橫拉桿等部件的重量都減輕了不少，這也進一步地提高了機械手的運動性能，堅守了板材工件運送加速和減速運動過程中的彈性抖動。

真空機械手/集成電路設(shè)備

真空機械手

北京京儀集團有限責(zé)任公司（簡稱京儀集團）隸屬于北控集團，是集科研、設(shè)計、生產(chǎn)制造、、工程設(shè)計和系統(tǒng)工程成套為一體的集團公司。

京儀集團的業(yè)務(wù)模式：一個基礎(chǔ)、兩翼發(fā)展。一個基礎(chǔ)：裝備制造業(yè)務(wù)（M），做優(yōu)以自動化、科學(xué)儀器、電力電子等為主業(yè)方向的裝備制造業(yè)務(wù)，為產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級奠定堅實的基礎(chǔ)。兩翼發(fā)展：投資運營業(yè)務(wù)（O）：做強以光伏電站、節(jié)能環(huán)保為目標(biāo)市場的投資運營業(yè)務(wù)，為裝備制造業(yè)務(wù)拓展新的市場和空間?，F(xiàn)代服務(wù)業(yè)務(wù)（S）：做精以生產(chǎn)性服務(wù)業(yè)、科技服務(wù)業(yè)為核心內(nèi)容的現(xiàn)代服務(wù)業(yè)務(wù)，為裝備制造業(yè)務(wù)提供技術(shù)支撐和資源保障。