VMB閥門箱產(chǎn)品介紹：

VMB閥門分配箱，是一種內(nèi)嵌多支路，實(shí)現(xiàn)高純氣體或液體分流的閥門箱。

VMB能讓高純?cè)蠌膯我粊碓幢环峙涞蕉帱c(diǎn)應(yīng)用。對(duì)于每個(gè)使用點(diǎn)，壓力可被單獨(dú)地調(diào)控，從而可同時(shí)滿足不同應(yīng)用的需求。它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能，因此操作人員能夠在無危險(xiǎn)氣體泄漏的情況下安全地維

VMB的每一部份。除此以外，設(shè)備運(yùn)行過程中能在不影響其它支路氣體供應(yīng)情況下，吹掃某一支路或?qū)ζ溥M(jìn)行真空抽氣。

半自動(dòng)VMB閥門箱介紹：

半自動(dòng)分配箱（VMB）：通過采用PLC控制，通過設(shè)備安裝的壓力傳感器、氣動(dòng)閥等裝置，實(shí)現(xiàn)設(shè)備安全有效的運(yùn)行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計(jì)的安全聯(lián)鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導(dǎo)

體工藝生產(chǎn)過程中對(duì)高純介質(zhì)的連續(xù)供給和高純度的要求，同時(shí)也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。

適用氣體：易燃性，腐蝕性，毒性氣體，諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。
適用行業(yè)：Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED，研究所，高校實(shí)驗(yàn)室等。

面板基本配置：

進(jìn)口手動(dòng)隔離閥
進(jìn)口氣動(dòng)隔膜閥
進(jìn)口壓力傳感器
吹掃壓力表
單向閥
減壓器
過濾器

面板可選配置

真空發(fā)生器
測(cè)試端口閥門