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株式會社 富士金FUJIKIN IGS(模組化氣體供應系統(tǒng)) 衡器配件

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更新時間:2022-12-14 09:47:17瀏覽次數(shù):499次

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IGS主要零部件規(guī)格說明及選型,包含IGS用氣動閥、阻絕閥、逆止閥、流量調(diào)節(jié)閥

IGS主要零部件規(guī)格說明及選型,包含IGS用氣動閥、阻絕閥、逆止閥、流量調(diào)節(jié)閥。


并介紹IGS用基礎組件,包含墊片、鍍銀螺帽/螺絲及特殊工具。


六大基本概念


①基本技術至高性能化—— * 安全&潔凈之技術


②小型化—— * IGS面板體積約僅為傳統(tǒng)面板的1/3

* 采用SEMI界面


③提升品質—— * 氣密 部位采用W-seal,使得氣密部位與承受外力部分分離。
* 各組件以氣密部位為中心,采用水平系統(tǒng)的緊密施工結構。
* 鍍銀螺帽及螺絲采用可裝100次以上的耐用性能的SUSXM7,耐蝕性*。


④提升施工、維修效率—— * 所有零組件皆可從上方拆裝。
* 利用特殊工具,可極大縮短施工時間。
* 每個氣密部位上方都有測漏孔,可透過PINPOINT準確地檢查泄漏情況。
* 通過簡單的帶狀加熱工具,即可穩(wěn)定操控流體溫度。
* 扣釘捕捉系統(tǒng),可預防施工、維修時螺絲松脫。
* 采用付導環(huán)的墊片,便于安裝,并可防止傷及墊片氣密面。


⑤標準化設計—— * 利用標準化零組件陣容及少數(shù)產(chǎn)品種類,即可達到高度自由設計目標。


⑥降低成本—— * 通過小型化、標準化、提升施工效率等達到降低整體成本目標。

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