主要特點(diǎn)：
- 集成的 TESCAN Essence™ EDS 分析平臺，可在 Essence™ 軟件的同一個窗口中實(shí)現(xiàn)掃描電鏡實(shí)時成像和成分分析。
- TESCAN 的無機(jī)械光闌光路設(shè)計及實(shí)時電子束追蹤技術(shù) (In-flight Beam Tracing™)，可快速獲得的成像和分析條件。
- 的大視野光路（Wide Field Optics™）設(shè)計，可實(shí)現(xiàn)最小放大倍率低至2倍，因而無需額外的光學(xué)導(dǎo)航相機(jī)，即可輕松、精確的對樣品進(jìn)行導(dǎo)航。
- 直觀、模塊化的 Essence™ 軟件設(shè)計，不同經(jīng)驗(yàn)等級的用戶均可輕松操作。
- Essence™ 3D 防碰撞模型，可確保樣品臺和樣品移動時，安裝在樣品室內(nèi)探測器的安全性。
- 可選配的真空緩沖節(jié)能單元可顯著縮短機(jī)械泵的運(yùn)行時間，提供一款環(huán)保、高經(jīng)濟(jì)效益的電子顯微鏡。
全新的 TESCAN Essence™ 軟件
TESCAN VEGA COMPACT 采用 TESCAN Essence™ 多用戶電鏡操作軟件，具有快速搜索、操作步驟撤銷/重做和預(yù)設(shè)參數(shù)等多種快速功能，實(shí)現(xiàn)更高效的樣品分析工具。軟件允許和表征。用戶可以根據(jù)實(shí)際操作水平或特殊應(yīng)用需求的不同在軟件中自定義界面布局，也可以在軟件上設(shè)定自己的專屬界面，只顯示滿足自身應(yīng)用需求的功能和圖標(biāo)。這種簡化后的布局方式可以更好的幫助接觸電鏡不久的操作人員輕松掌握掃描電鏡成像和能譜分析。
樣品臺
5軸計算機(jī)控制優(yōu)中心馬達(dá)驅(qū)動樣品臺
X 及 Y 軸移動行程: 80 (X) x 60 (Y) mm
Z 軸移動行程: 50 mm
傾斜: 計算機(jī)控制優(yōu)中心式, -80° 至 +80°
旋轉(zhuǎn): 計算機(jī)控制優(yōu)中心式, 360 ° (連續(xù))
樣品高度：81 mm
樣品尺寸: 145 (X) × 145 (Y) mm
樣品重量: 1000 g
軟件：
- 測量軟件, 公差測量軟件
- 圖像處理
- 預(yù)設(shè)參數(shù)
- 直方圖及LUT
- SharkSEM™ 基礎(chǔ)版 (遠(yuǎn)程控制)
- 3D 防碰撞模型軟件
- 對象區(qū)域
- 光電聯(lián)用
- 定時關(guān)機(jī)
- CORAL™（用于生命科學(xué)的電鏡模塊）
- 自動拼圖軟件
- 樣品觀察
- TESCAN Flow™ (離線處理軟件)
根據(jù)實(shí)際配置和需求
設(shè)備參數(shù)：
| 電子槍 | 加熱鎢燈絲陰極 |
| 電子光學(xué)部件 | 中間透鏡大視野觀察（Wide Field OpticsTM Technology with Intermediate LensTM ）和實(shí)時電子束追蹤（In-Flight Beam TracingTM ） |
| 分辨率 | 高真空模式：3 nm@30 keV；8 nm@3 keV |
| 視野 | 位于工作距離時＞50 mm |
| 艙室 | LM |
| 標(biāo)配 | EssenceTM軟件、SE探測器；4Q BSE探測器；IR 攝像頭 |
| 選配 | SharkSEM軟件，可用于與第三方EDS信號連通；EssenceTM EDS；Vacuum Buffer；（倉室上只有6個法蘭口， 除SE, 4Q BSE, EDS, CCD，pA meter incl. touch alarm function外，其他探測器均不可選） |
| 五軸樣品臺 | X 及 Y 軸移動行程: 80 (X) x 60 (Y) mm Z 軸移動行程: 50 mm 傾斜: 計算機(jī)控制優(yōu)中心式, -80° 至 +80° 旋轉(zhuǎn): 計算機(jī)控制優(yōu)中心式, 360 ° (連續(xù)) 樣品高度：81 mm 樣品尺寸: 145 (X) × 145 (Y) mm 樣品重量: 1000 g |
