激光測(cè)量光束借助于物鏡聚焦于物體表面,物鏡的位置連續(xù)可調(diào),激光束的焦點(diǎn)總是與物體表面重合,可同時(shí)測(cè)量表面輪廓和局域反射光。
AFS傳感器具有表面復(fù)現(xiàn)度高的特點(diǎn),傳感器可配備微型照相機(jī)適配器,以便能夠直接通過(guò)物鏡對(duì)表面片段直接觀察,使激光光束精密定位。特別開(kāi)發(fā)、高度集成的BMT-IC技術(shù),傳感器熱漂移極低。高倍率孔徑物鏡,保證儀器無(wú)論在垂直方向還是在水平方向均能提供較高的分辨率。
主要用途:
◆ 精密位移測(cè)量
◆ 微機(jī)械零件的尺寸測(cè)量
◆ 金相測(cè)量
◆ 振動(dòng)測(cè)量
◆ 厚度測(cè)量
◆ 微小區(qū)域內(nèi)直線度、平面度、園弧半徑的測(cè)量(如轉(zhuǎn)位刀片刃口、金剛石*)
◆ BMT-IC技術(shù)傳感器
◆ 微型化的傳感器
◆ 分辨率1nm
◆ 測(cè)量范圍2000µm
◆ 光斑直徑< 1µm
◆ 適用于制造業(yè)所有粗糙度測(cè)量
◆ 連續(xù)變焦
◆ 測(cè)量結(jié)果與表面結(jié)構(gòu)無(wú)關(guān)
◆ 數(shù)據(jù)采集和評(píng)估可歸并到已有的軟件中
◆ 具有可組裝性,可組裝到已有的系統(tǒng)中