MT-30A系列質(zhì)量流量計/控制器由質(zhì)量流量傳感器，
分流器通道，流量控制調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部
件組成。
本流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細
管壁溫度分布的熱傳導分布效應爾制成
采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流
量，可以不受溫度壓力的影響，將傳感器測得得流
量信號進行放大，然后與設定的電壓值進行比較，
用所得的差值信號去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制
流過通道的流量使之與設定

詳細介紹

MT-30ASERIES

→低價格，高性能

→MT-30A模擬式系列

→熱式之質(zhì)量流量計/流量控制器

概要：

MT-30A系列質(zhì)量流量計/控制器由質(zhì)量流量傳感器，

分流器通道，流量控制調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部

件組成。

本流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細

管壁溫度分布的熱傳導分布效應爾制成

采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流

量，可以不受溫度壓力的影響，將傳感器測得得流

量信號進行放大，然后與設定的電壓值進行比較，

用所得的差值信號去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制

流過通道的流量使之與設定的流量相等。

●標準

本公司產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標準

MT-30A

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型式

模擬式

數(shù)字式

功能

流量計

流量控制器

流量范圍

ABC

氣體種類

013

008

Air

015

004

025

CO2

001

FFF

其他

接頭

1/4”VCR

1/2”VCR

3”SWL

6”SWL

其他

訊號

DC 0~5V

其他

電源

DC+/-15V

SJ/T10583-94 以及SJ37 所規(guī)定的通用技術(shù)條產(chǎn)品尺寸127×28×100mm

件和命名方法。

質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。型號選型

質(zhì)量流量的單位規(guī)定為：SCCM(標準毫升/分)

SLM(標準升/分)

標準狀態(tài)規(guī)定為：溫度--273.15K( 0℃ )

氣壓--101325pa(760mm Hg) F.S(Full Scale):滿量程值

特點：

MT-30A系列可應用在5SCCM-30SLM的氣體流量范圍

并且不會受到溫度及壓力變化的影響，應用范圍廣

●模擬式質(zhì)量流量計/控制器

·低單價 ·環(huán)境溫度補正 ·可應用流量范圍廣

·0-5，10，20，30，50，100，200，500SCCM

·0-1, 2 , 3 , 5 , 10, 20 , 30SLM

●高精度

·±1%F.S（≤15SLM） ·±2%F.S（＞15SLM）

●小體積

●可選用MT-1A流量顯示儀或MT-1B流量積算儀配

套使用。

●輸入，輸出，供電

·輸入設定電壓…………0～+5.00V

·輸出電壓檢測…………0～+5.00V

●基本參數(shù)

功能		流量計/控制器
基本型號		MT-30A
滿量程流量范圍(N₂)	SCCM	0～5，10，20，30，50，100，200，500
	SLM	0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(％F.S)		±1(≤15SLM)
		±2(＞15SLM.)
控制閥動作型式		常閉式
線性(％F.S.)		±0.5～1(≤15SLM)
		±2％(＞15SLM.)
重復精度(％F.S.)		±0.2
響應時間(sec)		≤1
流量輸出信號		0-+5.00V
流量設定信號		0-+5.00V
電器接頭		DB15 pin(接頭)
工作環(huán)境溫度	(℃)	5～45
工作壓差	(MPa)	0.1～0.5
漏率	SCCSHe	1×10^-9
大耐壓		3MPa
介質(zhì)接觸材質(zhì)		304，316，316L
密封材料		氟橡膠，硅橡膠，聚四氟乙烯
接頭		VCR " 1/4、1/2
		Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接頭和尺寸		Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm
電源要求		+15V,50mA;-15V,200mA
重量		0.75KG