真空高低溫探針臺：
1． 產(chǎn)品名稱：真空探針臺
2． 產(chǎn)品型號：KT-Z1604T-RL
3． 產(chǎn)品品牌：鄭科探 Zhengketan
4． 生產(chǎn)廠家：鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
功能要求
KT-Z160T-RL該探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面，臺面可升溫到400℃。低溫-190°C。真空腔體設(shè)計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－20mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－20mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準(zhǔn)檢測點后，即可進行檢測。
真空高低溫探針臺：主要技術(shù)要求
1． 腔體材質(zhì)：304不銹鋼
2． 上蓋開啟：鉸鏈側(cè)開
3． 加熱臺材質(zhì)：304不銹鋼
4． 內(nèi)腔體尺寸：φ160x90mm
5． 觀察窗尺寸：Φ70mm
6． 加熱臺尺寸：φ55×55mm
7． 觀察窗熱臺間距：75mm
8． 加熱臺溫度： -190-400℃
9． 加熱臺溫控誤差： ±1℃
10． 真空度： 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
11． 允許正壓： ≤0.1MPa
12． 真空抽氣口： KF25真空法蘭
13． 氣體進氣口： 3mm-6mm卡套接頭
14． 電信號接頭： SMA轉(zhuǎn)BNC X 4
15． 電學(xué)性能： 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V 漏電流 ≤-10次方安培
16． 探針數(shù)量： 4探針
17． 探針材質(zhì)： 鍍金鎢針
18． 探針尖： 10μm
19． X軸移動行程： 30mm ±15mm
20． X軸控制精度：≤0.01mm
21． Y軸移動行程：13mm ±12.5mm
22． Y軸控制精度：≤0.01mm
23． Z軸移動行程：13mm ±12.5mm
24． Z軸控制精度：≤0.01mm
25． 顯微鏡類別：物鏡
26． 物鏡倍數(shù)：0.7-4.5倍
27． 工作間距：90mm
28． 相機：sony 高清
29． 像素：1920※1080像素
30． 圖像接口：VGA
31． LED可調(diào)光源：有
32． 顯示屏：8寸
33． 放大倍數(shù)：19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
四：主要配置
1．1臺 · 真空探針臺KT-Z1604T-RL
2．1臺 · 工業(yè)CCD
3. 1臺 · 真空泵-8
4. 1個 · PG800真空計
5. 1臺 · 液氮泵
