武漢小型探針臺(tái)特點(diǎn)
1、體積小巧:占地面積小,便于安置在各種實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)線上,能有效節(jié)省空間,尤其適合空間有限的研發(fā)或測(cè)試環(huán)境。
2、操作簡(jiǎn)便:通常采用手動(dòng)或半自動(dòng)操作方式,操作界面簡(jiǎn)潔直觀,不需要復(fù)雜的編程或?qū)I(yè)培訓(xùn)即可上手操作,降低了使用門(mén)檻,提高了工作效率。
3、精度較高:雖然體積小,但仍能保證較高的定位精度和測(cè)量精度,探針的定位精度可達(dá)微米甚至亞微米級(jí)別,能夠滿足大多數(shù)小型器件或樣品的測(cè)試需求。
4、靈活性強(qiáng):可根據(jù)不同的測(cè)試需求進(jìn)行配置和定制,如更換不同類(lèi)型的探針、調(diào)整探針間距、選擇不同的顯微鏡或測(cè)量?jī)x器等,還能與其他設(shè)備集成,實(shí)現(xiàn)更復(fù)雜的測(cè)試功能。
武漢小型探針臺(tái)應(yīng)用領(lǐng)域
1、半導(dǎo)體器件測(cè)試:用于測(cè)試半導(dǎo)體晶圓上的芯片、二極管、晶體管等器件的電學(xué)性能,如電流 - 電壓特性、電容 - 電壓特性、電阻測(cè)量等,幫助篩選出不良器件,提高產(chǎn)品質(zhì)量。
2、光電產(chǎn)品檢測(cè):可對(duì)光電二極管、發(fā)光二極管、激光二極管、太陽(yáng)能電池等光電產(chǎn)品進(jìn)行性能測(cè)試,包括光電流、光電壓、發(fā)光強(qiáng)度、光譜特性等參數(shù)的測(cè)量,確保產(chǎn)品符合質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。
3、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)測(cè)試:針對(duì) MEMS 傳感器、執(zhí)行器等器件,小型探針臺(tái)可實(shí)現(xiàn)對(duì)其力學(xué)、電學(xué)、熱學(xué)等多物理場(chǎng)性能的測(cè)試,為 MEMS 器件的研發(fā)和生產(chǎn)提供重要的測(cè)試手段。
4、納米材料研究:在納米材料的研究中,可用于測(cè)量納米線、納米管、量子點(diǎn)等納米材料的電學(xué)性能,探索納米材料的物理特性和潛在應(yīng)用。
類(lèi)型
1、手動(dòng)小型探針臺(tái):通過(guò)手動(dòng)操作旋鈕或手柄來(lái)控制探針的移動(dòng)和定位,價(jià)格相對(duì)較低,適用于簡(jiǎn)單的測(cè)試任務(wù)和少量樣品的測(cè)試,如科研院校的基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)、小型企業(yè)的產(chǎn)品研發(fā)等。
2、半自動(dòng)小型探針臺(tái):在手動(dòng)操作的基礎(chǔ)上,增加了部分自動(dòng)化功能,如電動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)、自動(dòng)對(duì)焦顯微鏡等,能夠提高測(cè)試效率和精度,適用于中等規(guī)模的生產(chǎn)測(cè)試或?qū)y(cè)試精度要求較高的研發(fā)工作。
3、特殊功能小型探針臺(tái):包括真空探針臺(tái)、高低溫探針臺(tái)、射頻探針臺(tái)等,真空探針臺(tái)可在真空環(huán)境下進(jìn)行測(cè)試,減少空氣對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響;高低溫探針臺(tái)能控制樣品的溫度,模擬不同工作環(huán)境下的測(cè)試;射頻探針臺(tái)則用于高頻、射頻器件的測(cè)試。
關(guān)鍵部件
1、探針:是與被測(cè)樣品直接接觸的部件,通常由鎢、錸鎢合金等材料制成,具有良好的導(dǎo)電性和機(jī)械強(qiáng)度,根據(jù)不同的測(cè)試需求,有不同的針尖形狀和尺寸可供選擇。
2、探針座:用于固定探針,并提供探針的移動(dòng)和定位功能,有不同的精度等級(jí)可選,如 0.7μm、2μm、10μm 精度等,可根據(jù)測(cè)試要求選擇合適精度的探針座。
3、顯微鏡:用于觀察樣品和探針的位置,以便進(jìn)行精確的對(duì)準(zhǔn)和操作,常見(jiàn)的有金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡等,顯微鏡的放大倍數(shù)和分辨率對(duì)測(cè)試精度有重要影響。
4、樣品臺(tái):用于放置被測(cè)樣品,通常具有加熱、制冷、旋轉(zhuǎn)、平移等功能,以滿足不同的測(cè)試需求,樣品臺(tái)的尺寸和精度也因探針臺(tái)的型號(hào)而異。