武漢常規(guī)探針臺(tái)出售是半導(dǎo)體及微納器件測試的基礎(chǔ)設(shè)備，通過機(jī)械定位系統(tǒng)將探針與樣品表面精確接觸，實(shí)現(xiàn)電學(xué)參數(shù)（如電流、電壓、電容）的微區(qū)測量。其核心價(jià)值在于非破壞性、快速表征，廣泛應(yīng)用于晶圓級(jí)測試、器件失效分析、材料電學(xué)性能評(píng)估等場景。
二、武漢常規(guī)探針臺(tái)出售技術(shù)架構(gòu)與關(guān)鍵模塊
機(jī)械定位系統(tǒng)
三維位移平臺(tái)：采用交叉滾子導(dǎo)軌+微分頭/步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，定位精度通常為1-10μm，滿足微米級(jí)器件測試需求。
探針卡組件：支持單探針（點(diǎn)接觸）或多探針（陣列接觸）配置，探針材質(zhì)包括鎢、鈹銅、金剛石鍍層等，接觸力范圍0.01-10N可調(diào)。
光學(xué)觀測模塊
體式顯微鏡：放大倍數(shù)10X-200X，用于粗定位與探針-樣品接觸狀態(tài)觀察。
CCD成像系統(tǒng)：分辨率1-5MP，支持實(shí)時(shí)圖像傳輸與測量標(biāo)記，提升操作精度。
電學(xué)測試接口
源表（SMU）集成：支持四線法測量，最小電流分辨率10fA，電壓范圍±210V，滿足低功耗器件（如IoT芯片）與高壓器件（如功率MOSFET）測試需求。
信號(hào)屏蔽設(shè)計(jì)：采用金屬屏蔽箱+三同軸電纜，降低50Hz工頻干擾與電磁輻射噪聲，信噪比優(yōu)于80dB。
選型建議：
研發(fā)實(shí)驗(yàn)室：優(yōu)先選擇支持多環(huán)境（真空、變溫）的模塊化探針臺(tái)，便于后續(xù)功能擴(kuò)展。
量產(chǎn)測試線：推薦全自動(dòng)探針臺(tái)+MES系統(tǒng)集成，實(shí)現(xiàn)測試數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)上傳與良率統(tǒng)計(jì)分析。
高校教學(xué)：經(jīng)濟(jì)型手動(dòng)探針臺(tái)+開源測試軟件（如LabVIEW）組合，兼顧成本與教學(xué)靈活性。
技術(shù)參數(shù)
臺(tái)體
Chuck尺寸：8英寸 12英寸
快速抽拉：行程-110mm 行程-150mm
水平旋轉(zhuǎn)：可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置
X-Y氣浮移動(dòng)：可360℃氣浮移動(dòng)，便于快速定位樣品
X-Y移動(dòng)行程：8英寸*8英寸 12英寸*12英寸
X-Y移動(dòng)精度：1um/2um
樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)
針座平臺(tái)：最多可放置8個(gè)探針座或12個(gè)探針座
平臺(tái)升降：可快速升降6mm/可微調(diào)升降25mm
背電極測試：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極
顯微鏡
顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率：16X-100X/20X-4000X
移動(dòng)行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸行程50.8mm（Z軸可選氣動(dòng)升降，快速進(jìn)行物鏡切換）
光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD:200萬像素/500萬像素/1200萬像素
探針座
X-Y-Z移動(dòng)行程：12mm*12mm*12mm
移動(dòng)精度：10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um
吸附方式：磁力吸附/真空吸附
DC調(diào)節(jié)點(diǎn)測角度：0-30℃
RF調(diào)節(jié)角度：多點(diǎn)控頭調(diào)水平旋鈕，可以+-10℃調(diào)節(jié)，精度0.1度
探針夾具
線纜：同軸線/三軸線/射頻線/開爾文線
漏電精度：10pA/100fA/10fA
固定探針：彈簧固定/管狀固定
接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口
DC針尖直徑：0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um
RF探針頻率：40GHz/50GHz/67GHz/110GHz
材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅/鍍鎳
外形：900mm*700mm*900mm /950mm長 *700mm寬*700mm高
重量：約150千克/180千克
可選附件（根據(jù)客戶要求定制）
加熱臺(tái)
顯示器
轉(zhuǎn)接頭
射頻測試配件
屏蔽箱
防震桌
鍍金卡盤
光電測試配件
