武漢探針臺(tái)應(yīng)用場(chǎng)景介紹

晶圓測(cè)試（Wafer Testing）

在芯片制造過程中（如流片后、封裝前），對(duì)整片晶圓上的每個(gè)芯片（Die）進(jìn)行電氣性能測(cè)試，篩選出良品和不良品，降低后續(xù)封裝成本。

測(cè)試內(nèi)容包括：直流參數(shù)（如電壓、電流）、交流特性（如頻率響應(yīng)）、射頻（RF）性能、光電特性等。

失效分析（Failure Analysis）

對(duì)失效的芯片或器件進(jìn)行定點(diǎn)測(cè)試，定位故障區(qū)域（如短路、開路、漏電等），輔助判斷制造工藝或設(shè)計(jì)缺陷。

研發(fā)與工藝驗(yàn)證

半導(dǎo)體研發(fā)階段，用于測(cè)試新結(jié)構(gòu)、新材料器件的特性（如晶體管、傳感器、功率器件等），驗(yàn)證工藝可行性。

封裝測(cè)試

在封裝（如 Flip Chip、2.5D/3D 封裝）中，對(duì)裸 die 或封裝后的器件進(jìn)行探針接觸測(cè)試，確?；ミB可靠性。

武漢探針臺(tái)應(yīng)用場(chǎng)景介紹關(guān)鍵組成部分

探針臺(tái)通常由以下模塊組成：

工作臺(tái)（Stage）

用于固定晶圓或器件，精度可達(dá)微米級(jí)，支持手動(dòng)或自動(dòng)（電動(dòng) / 氣動(dòng)）移動(dòng)，部分設(shè)備配備溫控臺(tái)（可模擬高低溫環(huán)境測(cè)試）。

探針卡（Probe Card）與探針（Probe）

探針卡：集成多根探針的測(cè)試夾具，探針材料通常為鎢、錸鎢或鍍金合金，直徑可達(dá)微米級(jí)（如 5μm），需定期校準(zhǔn)和維護(hù)。

探針類型：直流探針（用于常規(guī)電信號(hào)）、射頻探針（用于高頻信號(hào)，如毫米波）、光探針（用于光電器件測(cè)試）等。

探針座（Probe Holder）

固定探針卡，并連接至測(cè)試儀器（如示波器、參數(shù)分析儀、網(wǎng)絡(luò)分析儀等），實(shí)現(xiàn)信號(hào)傳輸。

顯微鏡與視覺系統(tǒng)

高倍光學(xué)顯微鏡（或電子顯微鏡）用于觀察探針與芯片引腳的對(duì)準(zhǔn)情況，配合攝像頭和軟件實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)（Auto-Probing），提升測(cè)試效率和精度。

控制系統(tǒng)與軟件

手動(dòng)探針臺(tái)通過機(jī)械旋鈕操作；自動(dòng)探針臺(tái)由計(jì)算機(jī)控制，集成運(yùn)動(dòng)控制軟件、測(cè)試流程管理軟件（如與 Keysight、泰克等儀器聯(lián)動(dòng)），支持批量測(cè)試和數(shù)據(jù)記錄。

分類與技術(shù)特點(diǎn)

按操作方式分類

手動(dòng)探針臺(tái)

適合研發(fā)、小批量測(cè)試或教學(xué)場(chǎng)景，成本較低，操作靈活但效率低，依賴人工對(duì)準(zhǔn)。

半自動(dòng)探針臺(tái)

部分環(huán)節(jié)自動(dòng)化（如工作臺(tái)移動(dòng)、探針定位），需人工干預(yù)部分流程。

全自動(dòng)探針臺(tái)

全流程自動(dòng)化（晶圓上料、定位、探針接觸、數(shù)據(jù)采集、分選），配備機(jī)械臂和視覺 AI 算法，適用于大規(guī)模量產(chǎn)測(cè)試，精度高（亞微米級(jí)）、速度快。

按應(yīng)用領(lǐng)域分類

直流探針臺(tái)：用于常規(guī)電信號(hào)測(cè)試，如邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片的直流參數(shù)測(cè)量。

射頻探針臺(tái)：針對(duì)高頻器件（如 5G 芯片、雷達(dá)組件），需匹配射頻探針和低損耗信號(hào)鏈路，減少信號(hào)衰減和干擾。

高溫 / 低溫探針臺(tái)：集成溫控模塊（如 - 196℃至 400℃），用于測(cè)試器件在惡劣環(huán)境下的性能穩(wěn)定性。

光電探針臺(tái)：結(jié)合光學(xué)系統(tǒng)（如光纖耦合），測(cè)試光電器件（如激光器、探測(cè)器）的光電轉(zhuǎn)換特性。