武漢高低溫測試探針臺組成部分

制冷系統(tǒng)：常采用液氦、液氮或制冷機(jī)等技術(shù)來實(shí)現(xiàn)低溫環(huán)境，如某些探針臺可達(dá)到 4.2K（約 - 269℃）的低溫。

加熱系統(tǒng)：一般配備電熱絲或電阻爐等加熱裝置，能將樣品加熱至所需高溫。

溫度控制系統(tǒng)：多采用 PID 控制器或模糊邏輯控制器等，可實(shí)時(shí)監(jiān)測并精確控制溫度，確保溫度穩(wěn)定輸出。

探針臺部分：配備多種探針（如電壓、電流、電阻探針等），具有精密運(yùn)動控制系統(tǒng)，可精確控制探針移動和定位。

真空系統(tǒng)：通過機(jī)械泵、分子泵等將實(shí)驗(yàn)區(qū)域抽至高真空，減少空氣干擾，部分還有防輻射屏設(shè)計(jì)以改善溫度均勻性。

輔助部件：包括樣品臺（用于承載樣品，需有良好導(dǎo)熱性和導(dǎo)電性）、顯微鏡系統(tǒng)（用于觀察探針與樣品交互）、數(shù)據(jù)采集與分析系統(tǒng)（采集、處理和分析測試數(shù)據(jù)）等，還可根據(jù)需求配備電磁鐵系統(tǒng)等可選附件擴(kuò)展功能。

武漢高低溫測試探針臺功能特點(diǎn)

寬溫度范圍：溫度范圍通常較寬，常見的有 - 196℃至 400℃，部分可實(shí)現(xiàn)更低或更高溫度范圍，如 7K - 675K 等。

精確控溫：控溫精度較高，如 ±0.1℃，并能通過溫度控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn) PID 自整定連續(xù)多點(diǎn)控溫等。

真空環(huán)境支持：可提供真空環(huán)境，避免冷凝干擾以及減少空氣對實(shí)驗(yàn)結(jié)果的影響，真空度一般能達(dá)到機(jī)械泵≤10Pa，分子泵≤5.0×10?3Pa 等水平。

多種測量功能：能對樣品進(jìn)行電學(xué)特性測量（如電壓、電流、電阻、IV 曲線等），還可擴(kuò)展到光電特性測量、射頻特性測量等多種功能，適用于不同類型器件和材料的測試。

精確定位：具備高精度的探針定位系統(tǒng)，移動精度可達(dá) 0.01mm 等，確保探針能準(zhǔn)確接觸樣品測試點(diǎn)。

應(yīng)用場景

半導(dǎo)體研發(fā)與生產(chǎn)：用于測試不同溫度條件下半導(dǎo)體器件（如芯片、晶圓）的電學(xué)性能，幫助研發(fā)人員了解器件的溫度穩(wěn)定性，篩選不良品，確保產(chǎn)品質(zhì)量。

材料科學(xué)研究：可對各種材料（如超導(dǎo)材料、納米材料、電子材料等）在高低溫環(huán)境下的電學(xué)、光學(xué)等特性進(jìn)行研究和表征。

光電器件測試：像 LD/LED/PD 等光電器件的光強(qiáng)、波長等性能在不同溫度下的測試分析。

科研教學(xué)領(lǐng)域：高校和科研機(jī)構(gòu)進(jìn)行相關(guān)科學(xué)研究和教學(xué)實(shí)驗(yàn)，為材料和器件的性能研究提供重要的測試平臺。